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第23章 中微公司688012的前世今生（第3页）
12.62
亿元，同比增长
35.89%，研发投入占公司总收入的比例为
20.15%
。这些投入使得公司在刻蚀设备、薄膜设备等领域取得了一系列重要突破。
在刻蚀设备方面，中微公司的等离子体刻蚀设备技术不断升级，已成功应用于从
65
纳米到
5
纳米及更先进节点的制造工艺，刻蚀精度达到了
100
“皮米”
以下水平，相当于头发丝
350
万分之一的精准度，能够满足
90%
以上的刻蚀应用需求，技术能力已覆盖
5
纳米及以下更先进水平。公司的
刻蚀设备反应腔全球出货量超
3000
台，累计已有超过
700
台
icp
和
tsv
设备在国内外生产线实现量产，市场占有率不断提高。
在薄膜设备领域，中微公司推出了多款新产品，如
preforma
uniflex?
cw、preforma
uniflex?
hw、
preforma
uniflex?
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